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Geforderte Chipzulieferer

Die Litografiesysteme von ASML liefern einen wichtigen Beitrag, um die Strukturgrösse von Chips weiter zu senken.

Langsam, aber sicher geht im Hsinchu Science Park – dem Silicon Valley von Taiwan – der Platz aus. Wer grössere Vorhaben umsetzen möchte, muss anderswo nach Bauland suchen. Das betrifft auch TSMC (Taiwan Semiconductor Manufacturing Company): Für ein wichtiges Projekt wurde der weltgrösste Chipauftragsfertiger (Foundry) erst in rund zwanzig Minuten Fahrdistanz fündig.

Dort, in Chunan, will er in den kommenden Jahren auf 14 Hektar eine der fortschrittlichsten Fabriken der Branche erstellen. Erstens plant TSMC, darin die Fertigung auf 450-mm-Wafern (Siliziumscheiben) zu testen, zweitens soll gleichzeitig die Strukturgrösse der Chips auf 10 oder gar 7 Nanometer (nm) verkleinert werden. Die vergangene Woche offengelegten Pläne dürften in der Zentrale des niederländischen Chipzulieferers ASML gerne gehört worden sein – denn er spielt in der künftigen Entwicklung eine Schlüsselrolle.

Budgets unter Druck

Zum jüngsten Quartalsbericht gab TSMC-Chef Morris Chang bekannt, die Investitionen 2013 relativ stabil bei rund 8,3 Mrd. $ halten zu wollen. Dass der Auftragsfertiger – im Gegensatz zu anderen Wettbewerbern – das Budget nicht zurückfährt, erklärt TSMC mit der erwarteten Solidität im Mobilfunkmarkt. «Die hohe Nachfrage dürfte noch ein paar Jahre anhalten», meint Chang optimistisch.

Aussagen wie diese sind für die Zulieferer ein Lichtblick in einem sonst eingetrübten Umfeld. Einerseits sorgt die schwierige Weltwirtschaft für Zurückhaltung. Andererseits stagniert der PC-Markt,

was gleich in mehreren Chipsparten spürbar wird: So leiden die Speicherchiphersteller (Dram und Nand) darunter, dass die Bestückung pro Rechner nicht mehr so stark wächst wie früher. Auch haben sich Solid State Drives – Alternativen zu traditionellen Harddisks, die auf Nand-Chips basieren – weniger rasch durchgesetzt als erhofft. Barclays Capital geht deshalb für 2013 davon aus, dass sich die Gesamtausgaben für Ausrüstung leicht auf 29 Mrd. $ ermässigen.

Die Trends spiegelten sich vor Kurzem auch im eher enttäuschenden Quartalsausweis von ASML. Das Unternehmen, das lithografische Systeme verkauft, mit denen sich Strukturen auf die Wafer übertragen lassen, ist ein wichtiger Gradmesser der Branche: Im stark fragmentierten Zuliefermarkt haben sich die Niederländer 2011 hinsichtlich Umsatz erstmals auf den Spitzenplatz geschoben.

Neben dem schwierigen Investitionsklima ist ASML auch technologisch gefordert: Um die Chips schrumpfen zu lassen und so die Stückkosten zu senken, reicht die fortgeschrittenste Fertigungsmethode – 193-Nanometer-Gaslaser mit Argonfluorid als Medium – bald nicht mehr aus. Zwar kann das Multipatterning, bei dem mehrere Belichtungsschritte erfolgen, die Nutzung herkömmlicher Technologien hinauszögern. Wegen der höheren Zahl der Prozessschritte ist dies langfristig aber zu kostspielig. Erst neue Lithografiesysteme auf Basis von EUV (extremes ultraviolettes Licht) ermöglichen die benötigte Präzision und wirtschaftliche Effizienz.

Finanzielle Unterstützung

Zu den grössten Herausforderungen von EUV zählen die Stärke und Konstanz der Lichtquelle: Bisherige Laser sind noch nicht kraftvoll genug, um in einer hochvolumigen Chipproduktion eingesetzt zu werden. Deshalb hat ASML vor zwei Wochen für 2,6 Mrd. $ den Laser-Marktführer Cymer übernommen. Zwar hatte man dort über die Dauer des letzten Jahres bereits rund 500 Ingenieure vorbeigeschickt. Trotzdem blieben die Fortschritte hinter den Erwartungen zurück. ASML hofft deshalb, den Prozess über eine noch engere Kooperation beschleunigen zu können.

Finanziell dürfte ASML die Akquisition zu stemmen wissen. Der Konzern verfügte per Ende Quartal über eine Nettoliquidität von 5,4 Mrd. €. Zudem erhielt er jüngst tatkräftige Unterstützung: Sowohl TSMC als auch Intel und Samsung Electronics – die drei investitionsfreudigsten Chipfertiger der Welt – haben sich an den Niederländern beteiligt und werden gewisse Forschungsausgaben mittragen.

Trotz des bislang enttäuschenden Fortkommens spricht die Cymer-Akquisition dafür, dass ASML an die erfolgreiche Zukunft von EUV glaubt. Hält die Technologie tatsächlich in der Volumenproduktion Einzug, wird dadurch die Dominanz der Niederländer weiter gefestigt. Bis dann kann der Konzern selbst in einem stagnierenden Markt prosperieren. Denn ein immer grösserer Teil der Investitionsbudgets fliesst in die Lithografie. ASML schätzt, dass sich die Ausgaben in Belichtungssysteme etwa bei einem Wechsel von 28 auf 20nm-Strukturgrösse fast verdoppeln.

Übernahme kaum gefährdet

Seit Jahresbeginn haben ASML bereits über 33% an Wert gewonnen. Inzwischen weisen die Valoren für 2013 ein stattliches Kurs-Gewinn-Verhältnis von 15 auf. Angesichts der guten Wachstumsaussichten sind die Titel aber nicht zu teuer. Das längerfristige Kurspotenzial bleibt intakt.

Die Gefahr, dass die Wettbewerbshüter die Cymer-Übernahme – und die damit verbundene Dominanz von ASML – vereiteln, wird von Analysten als eher gering eingestuft. Dazu dürfte beitragen, dass die wichtigsten Abnehmer von Lithografiesystemen die Akquisition gutheissen.

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